Evaporation Material
Aufdampfen ist eine übliche Methode zum Auftragen dünner Schichten. Das Ausgangsmaterial wird im Vakuum eingedampft. Durch das Vakuum gelangt das aufzutragende Material direkt zum Zielobjekt (Substrat) und kondensiert dort wieder in seine feste Form. Die Verdampfung wird in der Mikrofabrikation und zur Herstellung von Produkten im Makromaßstab wie metallisierten Kunststofffolien verwendet.
Das Aufdampfen beinhaltet zwei grundlegende Prozesse: Ein heisses Ausgangsmaterial verdampft und kondensiert auf dem Substrat. Es ähnelt dem bekannten Vorgang, bei dem flüssiges Wasser auf dem Deckel eines Kochtopfs erscheint. Die gasförmige Umgebung und die Wärmequelle (siehe “Ausrüstung” unten) sind jedoch unterschiedlich.
Die Verdampfung findet in einem Vakuum statt, d. H. andere Stoffe als das Ausgangsmaterial werden fast vollständig entfernt, bevor der Prozess beginnt. Im Hochvakuum können sich verdampfte Partikel direkt zum Ablagerungstarget bewegen, ohne das Hintergrundgase stören. (Im Beispiel des Kochtopfs drückt der Wasserdampf die Luft aus dem Topf, bevor sie den Deckel erreichen kann.) Bei einem typischen Druck von 10-4 Pa hat ein 0,4-nm-Partikel einem störungsfreien Weg von bis zu 60 m. Heisse Materialien in der Verdampfungskammer, wie Heizstäbe können unerwünschte Dämpfe erzeugen, die die Qualität des Vakuums einschränken.
Die Verwendung einer Starterquelle sorgt für einen stabileren Prozess, der zu einer gleichmäßigen Verdampfung führt. Dies sorgt für eine gleichmäßigere Oberfläche und Energienutzung, die weniger Anpassungen erfordert, um optimale Beschichtungsraten zu erzielen.
Evaporation slugs: Erhältlich in Standardgrößen (3,175 x 3,175 mm und 6,35 x 6,35 mm) oder zugeschnitten nach Ihren Vorgaben.
Aufnahmen: In verschiedenen Größen von 1,00 mm bis 3,00 mm erhältlich.
Starterquellen: In vielen verschiedenen Größen mit Volumina von 5 bis 155 cm³ erhältlich.
Verdampfungsstarterquellen passen in das Zentrum von Elektronenstrahlsystemen. Sie können für die Herstellung von Produkten in einer Vielzahl von Branchen verwendet werden, darunter drahtlose Geräte, LEDs, medizinische Geräte, optische Beschichtungen, funktionelle Beschichtungen und mehr.
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